Page 88 - Докторська дисертація_Ткачук

88

За другого підходу до формування оксинітридних шарів із

контрольованого розрідженого азоткисневмісного газового середовища в

умовах конкурування процесів оксидо- та нітридоутворення (рис. 2.6)

насичення проводили в розрідженій (0,001…0,1 Па) повітряній суміші, напуск

і випуск якої зі системи здійснювали за температури 500°С. Оксинітрування

проводили за температур 500…850°С протягом 3 год.

Рисунок 2.6 – Схема оксинітрування титанових сплавів в

азоткисневмісному газовому середовищі.

Інший варіант другого підходу до оксинітрування – це насичення у

розрідженому азоті з додаванням 20 і 30 об.% кисню (азоткисневмісній газовій

суміші). Оксинітрування проводили в діапазоні температур 550…750°С

протягом 3…12 год та розрідження газової атмосфери 0,01…0,1 Па.

Оксинітрування здійснювали на установці для термічної обробки у

вакуумі та контрольованому газовому середовищі (рис. 2.2 б), яка складається

з наступних частин: електропечі СШОЛ 16.2,0 0,8/9/5, ампули зі зразками, у

якій вакуум контролюється вакуумметром ВІТ-1 і манометричними датчиками

ЛТ-1 і ПМІ2; системи напуску газів і вакуумної системи. Система напуску

газів складається з вентиля-натікача та установки для заміру швидкості

напуску.

Підготовані зразки, що підлягали насиченню, розміщували в ампулі зі

сталі Х18Н10Т. Після завантаження зразків в ампулу систему відкачували до

тиску 10 Па та напускали робочий газ, встановлюючи необхідні параметри
-3
газового середовища. Зразки разом із піччю охолоджували у розрідженому