Page 93 - Докторська дисертація_Ткачук

93

EDAX Trident, і EVO-40XVP із системами рентгенівського мікроаналізу INCA

Energy 350 та дифракцїї обернених електронів, а також оптичного мікроскопа

Epiquant із цифровою камерою eTREK DCM520 і стандартним програмним

забезпеченням для обробки зображень.

Використовували трансмісійний електронний мікроскоп FEI TECNAI

G2 F20 SuperTWIN (рис. 2.11), оснащений інтегрованою системою

енергодисперсійного мікроаналізу EDAX (UTW).

Рисунок 2.11 – трансмісійний електронний мікроскоп FEI TECNAI G2
F20 SuperTWIN.

Спостереження проводили з використанням методів світлого поля (BF),

високої роздільної здатності (HR), а також методів сканувальної передачі

висококутового кільцевого темного поля (STEM-HAADF). Тонку фольгу

вирізали за допомогою FEI Quanta 200 3D з використанням сфокусованого

іонного променя (FIB). Поверхня покриття була відокремлена від платинової

маскуючої планки додатковим шаром вуглецю. Рентгенофазовий аналіз