Page 87 - Докторська дисертація_Ткачук

87

2.3.2. Оксинітрування титанових сплавів

Оксинітрування титанових сплавів за дифузійного насичення з газового

середовища здійснювали двома способами [295]:

 контрольованим модифікуванням нестехіометричного нітриду титану

киснем, яке реалізовували одно- та двоступеневим окисненням;

 насиченням з контрольованого розрідженого азоткисневмісного

газового середовища в умовах конкурування процесів оксидо- та
нітридоутворення, яке проводили в повітряній та азоткисневмісній

газовій суміші.
За першого підходу до формування оксинітридних шарів шляхом

модифікування нестехіометричного нітриду титану киснем контрольоване
кисневмісне середовище (повітря) напускали в систему на завершальній стадії

азотування (під час охолодження). Таким чином, від температури азотування

до 500°С відбувалося контрольоване окиснення сформованого нітриду титану

(оксинітрування). Схема такого процесу представлена на рис. 2.5.

Азотували за температур ТА = 650…950 °С. Ізотермічну витримку в азоті

5
А змінювали від 1 до 10 год. Парціальний тиск азоту pN 2 становив 10 Пa. При
модифікування нітридного шару титану киснем використовували розріджене

кисневмісне газове середовище, парціальний тиск кисню pО 2 в якому становив

0,001…0,1 Па.

Рисунок 2.5 – Схема оксинітрування титанових сплавів шляхом

модифікування нестехіометричного нітриду титану киснем.