Page 51 - Докторська дисертація_Ткачук

51

Рисунок 1.7 – Залежність електричного опору TiNxOy плівок від

співвідношення потоку повітря/Ar за високого та низького базових тисків

[116].

Тонкі оксинітридні плівки були сформовані на Si (100) шляхом

радіочастотного магнетронного напилення в атмосфері Ar+О2+N2 [118].

Сформована плівка, окрім оксинітриду титану, містила нітридну та оксидну

фази. Встановлено, що оксинітрид TiNxOy представлений у вигляді кубічної

структури, де атоми кисню заміщують атоми азоту. Це підтверджується

стехіометричним розрахунком, згідно якого отримано оксинітрид складу

TiN0,3O0,7. Стехіометрію плівок пояснили моделлю росту, яка постулює, що

вакансії азоту в оксинітриді TiNxOy заповнюються атомами кисню.

Оксинітридні покриття формували магнетронним напиленням на Si

(100) та титані СР-4, використовуючи титанову мішень та суміш газів (азоту

та кисню) [47]. Атомні співвідношення O/Ti і N/Ti вказують на те, що склад

плівок змінюється від N-збагаченого складу TiN0,64O0,35 до O-збагаченого

складу TiN0,08O1,92. Спостереження поверхні плівки за допомогою атомно-

силового мікроскопу показує нерегулярні зерна середньої шорсткості 7 нм

(рис. 1.8 а). У плівках зі середнім вмістом кисню (TiN0,39O0,87), стовпчаста

структура менш виражена, а поверхнева топографія гладкіша, середня