Page 54 - Докторська дисертація_Ткачук

54

газів у системі rf PLD, що збільшує реакційну здатність кисню, а азоту

зменшує, гальмуючи його включення у плівку.

Таблиця 1.1 – Елементний склад різних TiNxOy плівок: зразки 1–5 –

осаджені RPM, зразки 6–8 – осаджені rf PLD [140]

Елементний склад, ат.%
Зразок
Ті О N

1 63,8 4,9 31,3

2 20,1 43,5 36,4

3 22,6 48,6 28,8

4 23,3 54,8 21,9

5 25,3 62,4 12,3

6 25,3 47,9 26,8

7 27,7 53,9 18,4

8 28,1 54,2 17,7

Отже, оскільки практично однакова кількість TiNO фази формується у
плівках, осаджених методами RPM та rf PLD за суттєво різного

співвідношення O2/N2, то rf PLD метод посилює утворення хімічних зв'язків

TiNO, навіть за низького вмісту кисню.

У [119] порівнювали фретингостійкість (схема тертя кулька–площина

(підшипникова сталь)) титанових пластин з оксинітридними плівками,

сформованими методами реактивного магнетронного напилення (рис. 1.10 а)

та поверхневої лазерної обробки (рис. 1.10 б). Встановлено, що коефіцієнт

тертя для плівок практично однаковий (0,6-0,7), хоча нижчий, ніж для

необробленого титану (1,2). Проте морфологія тертьових поверхонь

засвідчила вищу стійкість до зношування оксинітридної плівки, осадженої під