Page 53 - Докторська дисертація_Ткачук

53

Рисунок 1.9 – Залежності твердості та модуля Юнга для TiNxOy плівок

від співвідношення O/(O+N) у плівках [47].

Імпульсне лазерне напилення (рulsed laser deposition, PLD) – це

контрольований процес осадження на поверхні підкладки матеріалу в

результаті взаємодії лазерного імпульсу з мішенню у вакуумній камері [155].

При цьому можна формувати як кристалічні, так і аморфні тонкі плівки.

Плівка, сформована високочастотним імпульсним лазерним напиленням

(rf PLD) містила лише оксинітрид TiNxOy, в той час як отримана реактивним

імпульсним магнетронним напиленням (RPM) – також і ТіО2 фазу за

аналогічного співвідношення швидкостей масового потоку (О2/N2=1) [140].

Поверхнева мікротвердість плівки, сформованої методом RPM, становила

10,7 ГПа, а rf PLD – 12,3 ГПа. Згідно даних рентгенівської фотоелектронної

спектроскопії (РФЕС), порівнювали склад плівок за елементами (табл. 1.1).

Зі збільшенням швидкості потоку O2, збільшення вмісту кисню та

титану, що супроводжується зменшенням вмісту азоту, спостерігали для

плівок, осаджених обома методами. Порівнюючи елементний склад зразків 3 і

7, отриманих обома методами напилення за співвідношення O2/N2=1, можна

побачити більший вміст кисню та менший вміст азоту у rf PLD плівці. Ця

особливість може бути пояснена вищими парціальними тисками реакційних