Page 56 - Докторська дисертація_Ткачук

56

400 ГПа відповідно), ніж плівка, збагачена азотом (TiN1,11O0,10) – 26 ГПа і

430 ГПа відповідно.

Рисунок 1.11 – РФЕС профілі для TiN0,97O0,23 та TiN1,11O0,10 з різним

вмістом кисню [143].

TiNxOy плівки формували методом PLD за різного рO2 з використанням

мішені TiN [145]. Зі збільшенням парціального тиску кисню, який подається у

PLD систему під час осадження, плівки еволюціонували послідовно:

TiN→TiNO→TiO→Ti2O3→анатаз TiO2 і, нарешті, стали аморфними за

найвищого рO2 (0,25 Торр). Зразки, осаджені при значеннях рO2=0-5×10 Toрр
-5
(тобто плівки TiN1-xOx) проявляли діамагнітну поведінку, в той час як плівки,

-4
осаджені за рO2=10 Toрр, які містили, в основному, Ti2O3, – феромагнітну
поведінку.

Метод плазмово-імерсійної іонної імплантації і осадження дозволяє

формувати оксинітридні плівки з різною стехіометрією. При подачі у

вакуумну камеру кисню та азоту (робочий тиск ~ 10 Па) формуються
-1
оксинітриди титану за температури < 225°С [53, 55, 146]. Зокрема, у роботі [53]

формували оксинітридні плівки на монокристалічному кремнії за різного

співвідношення парціальних тисків азоту та кисню p(N2)/p(O2). Встановлено,

що за p(N2)/p(O2)=3/1 формується плівка TiN0,3O1,7; за p(N2)/p(O2)=1/1 –

TiN0,4O1,6; за p(N2)/p(O2)=1/3 – TiN0,7O1,3. Зі збільшенням вмісту кисню в

оксинітриді титану шорсткість поверхні (Sz) зменшується від 43,8 до 27,1 нм,

а гідрофобність проявляє незначну тенденцію до зростання (рис. 1.12).