Page 55 - Докторська дисертація_Ткачук

55

час лазерної обробки, що зумовлено градієнтом концентрації азоту та кисню

по глибині.

Рисунок 1.10 – Морфологія поверхні ТiNxOy плівки, осадженої

магнетронним напиленням (а) і поверхневою лазерною обробкою (б) [119].

Імпульсне лазерне випромінювання Nd: YAG (λ=1,064 мкм) з

тривалістю імпульсу 5 нс було використане для формування оксинітридних

плівок на технічно чистому титані на повітрі [141]. Лазерна обробка

індукувала втілення азоту та кисню у титан, призводячи до росту шарів

оксинітриду титану товщиною 2 мкм. Вміст кисню та азоту збільшується зі

зростанням густини лазерного випромінювання, проти за густини лазерного
-2
випромінювання 400 Дж см вміст азоту стабілізується на ~ 20 ат. %.

TiNxOy плівки з різним вмістом кисню наносилися на MgO (001)
методом імпульсного лазерного напилення [143]. Було сформовано

оксинітридні плівки складу TiN0,97O0,23 та TiN1,11O0,10 однорідного хімічного
складу (рис. 1.11), які забезпечили відмінну когезію з MgO. Плівки TiNxOy

характеризувалися хорошою кристалічністю, параметр ґратки яких

зменшувався зі збільшенням вмісту кисню. Шорсткість поверхні становила

0,29 нм для TiN0,97O0,23 і 0,26 нм для TiN1,11O0,10. TiNxOy плівки є

електропровідні: питомий опір зростає від 28 до 33 мкОм×см зі збільшенням

вмісту кисню в оксинітриді титану. Збагачена киснем плівка (TiN0,97O0,23)

характеризується нижчими значеннями твердості та модуля Юнга (23 ГПа і