Page 49 - Докторська дисертація_Ткачук

49

Рисунок 1.5 – TEM-зображення та електронна дифракція (ЕД) TiN,

сформованого на Si (110) без потоку кисню (а); ТЕМ зображення та ЕД TiNxOy,

3
сформованого на Si (110) за потоку кисню 16 см /хв (б) [123].

10
Електричний опір TiNxOy плівок змінювався до 10 Ом∙см зі
збільшенням швидкості потоку кисню (рис. 1.6).

Рисунок 1.6 – Залежність електричного опору TiNxOy тонких плівок,

напилених на склі та полімері, від швидкості потоку О2 [123].

Формували плівки оксинітриду титану TiNxOy на склі методом

реактивного радіочастотного магнетронного напилення з титанової мішені,
використовуючи такі суміші як N2+Ar, N2+Не з різними концентраціями

кисню (2,5-15%) [112] чи в атмосфері Не з N2+О2 в якості реакційних газів