Page 46 - Докторська дисертація_Ткачук

46

корозійних пітингів на Ti у розчині Рінгера [97]. Встановлено, що швидкість

руйнування пасивної плівки значно зростає з підвищення температури

розчину.

Встановлено, що нітридне покриття TiN забезпечує ефективний захист

сплаву Tі-6Al-4V у розчині Хенка при 37°С [23]. На відміну від необробленого

сплаву, на поверхні нітридного покриття не спостерігаються пітинги після

потенціодинамічної поляризації. У роботі [64] показано, що нітридне покриття

підвищує тривкість сплаву Tі-6Al-4V до корозії у розчині PBS при 37°С.

1.3. Формування оксинітридних покриттів на титанових сплавах

Покриття оксинітридів титану, в основному, формують методами

хімічного осадження з парової (газової) фази (chemical vapour deposition, CVD)

та напиленням конденсацією з парової (газової) фази (physical vapour

deposition, PVD). Серед цих методів – хімічне осадження металоорганічних

сполук з парової фази (metal organic CVD, MOCVD) [46, 98–105], магнетронне

напилення (magnetron sputtering) [46, 47, 106–140], імпульсне лазерне

напилення (рulsed laser deposition, PLD) [119, 140–145], плазмово-імерсійна

іонна імплантація і осадження (metal plasma immersion ion implantation and

deposition, MePIIID) [55, 146, 147], іонно-променеве напилення (ion-beam

deposition, IBD) [148–152].

Тонкі плівки оксинітриду титану на нержавну сталь AISI 304, скло та Si

(100) осаджували методом MOCVD з використанням тетра-ізопропоксиду

титану Ti(OCH(CH3)2)4 і гідразину (N2H4) [100, 101]. При використанні даного

методу можна формувати різноманітні покриття на будь-яких підкладках

внаслідок осадження насичувальних елементів із парової фази [99].

Склад плівок контролювали, регулюючи молярну концентрацію

гідразину у вихідній реакційній газовій фазі. За низького парціального тиску

N2H4 формуються плівки, які ідентифікували як шари анатазу TiO2, доповані