Page 222 - Докторська дисертація_Ткачук

222

Таким чином, алгоритм оксинітрування можна представити так.

Сформовано два типи нітридного шару залежно від парціального тиску азоту,

які відрізняються товщиною та вмістом фази TiN. Нітридний шар,

сформований за pN 2 = 1 Па і з меншим вмістом фази TiN, позначимо як TiNx (I),

5
а нітридний шар, сформований за pN 2 = 10 Па і з більшим вмістом фази TiN –
як TiNx (ІІ) (рис. 5.34). З урахуванням різного вмісту кисню в оксинітриді

титану залежно від стадії окиснення нітридних покриттів позначатимемо їх

так. Оксинітридне покриття, сформоване під час одноступеневого окиснення

нітридного покриття та з більшим вмістом кисню, – як TiNx1Oy1 (I) у випадку

TiNx (I) та TiNx1Oy1 (II) – TiNx (II). Оксинітридне, сформоване під час

двоступеневого окиснення нітридного покриття та з меншим вмістом кисню,

– як TiNx2Oy2 (I) у випадку TiNx (I) та TiNx2Oy2 (II) – TiNx (II).

Рисунок 5.34 – Еволюція фазового складу поверхневих шарів титанового
сплаву ВТ6 під час модифікування киснем нітридних шарів, сформованих за

5
тиску pN 2 = 1 Па (I) і 10 Па (II).

Оцінювали корозійну тривкість титанового сплаву ВТ6 з

о
оксинітридними шарами за температур 36 і 40 С в ізотонічному 0,9 % розчині
NaCl, що моделює фізіологічне середовище людського організму, зокрема

плазму крові, в нормальному та запальному станах, відповідно [94, 305, 306].