Page 220 - Докторська дисертація_Ткачук

220

камеру напускали кисневмісне газове середовище (pО 2 = 0,001 Па), і

о
охолоджували до 500 С та вакуумували систему.
ІІ. Двоступеневе окиснення нітриду титану. Заздалегідь окиснені за

низької температури зразки нітриду титану окиснювали за тією ж схемою, але

о
при 850 С.
У результаті азотування сплаву ВТ6 формується дифузійний шар

(твердий розчин азоту в α-титані) та нітридний шар на поверхні [333]. Залежно

від парціального тиску азоту змінюється як склад нітридного шару, так і його

товщина. Зокрема, за pN 2 = 1 Па він містить 65% фази Ti2N і 4% фази TiN, а за

pN 2 = 10 Па – 18% і 67%, відповідно, тобто за тиску 1 Па формується нітридний
5
5
шар на базі фази Ti2N, а за 10 Па – на базі фази TiN. Дифракційні спектри
сплаву після азотування наведені на рис. 5.32, спектри 1. Склад нітриду титану

TiN зі збільшенням парціального тиску азоту наближається до

стехіометричного. Товщина нітридного шару при цьому зростає від 3 до

7 мкм.

Рисунок 5.32 – Дифракційні спектри, зняті з поверхні титанового сплаву

ВТ6 після азотування (1); одно- (2) та двоступеневого окиснення (3)

нітридного шару на базі фаз Ti2N (а) та TiN (б).

Після одноступеневого окиснення нітридних шарів на поверхні

формується шар оксинітриду титану, який ідентифікували за рефлексами