Page 291 - Докторська дисертація_Ткачук

291

Рисунок 7.8 – Дифракційні спектри (a) та фазовий склад (б) поверхневих

шарів азотованого технічно чистого титану ВТ1-0 після азотування (режими І

(1) і ІІ (2)).

Азотування супроводжується погіршенням якості поверхні, на якій

з'являються хвилясті нерівності, що утворюють сітку, яка, найімовірніше,

повторює сітку меж зерен матриці азотованого матеріалу. За переходу від

TiN0,69 (рис. 7.9 a) до TiN0,81 (рис. 7.9 б) якість поверхні титану погіршується,

оскільки параметр шорсткості Ra збільшується від 0,63 до 0,95 мкм. Товщина

нітридного шару при цьому збільшується від 3 до 6 мкм.

Рисунок 7.9 – Поверхня технічно чистого титану ВТ1-0 після азотування

(режими І (а) і ІІ (б)) та наступного ПЕО (в, г).