Page 290 - Докторська дисертація_Ткачук

290

Згідно результатів мікрорентгеноспектрального аналізу, співвідношення

Са/Р для ПЕО покриття, сформованого на попередньо азотованому за 850°C

технічно чистому титані ВТ1-0, становить 1,64, що наближається до

співвідношення, характерного для біологічного гідроксиапатиту, який є

основою кісткової тканини.

7.2.2. Вплив парціального тиску азоту

Нітридні шари на технічно чистому титані ВТ1-0 [343] формували згідно

режимів, наведених у таблиці 7.2.

Таблиця 7.2 – Параметри азотування технічно чистого титану ВТ1-0

Параметри азотування
Режим
o
T, C t, год pN2, Пa I, Па/с
-3
I 850 12 1 710

5
II 850 12 10 статичні умови

Під час азотування на поверхні технічно чистого титану ВТ1-0, згідно з

результатами рентгенівського фазового аналізу, формується нітридний шар,

який містить фази TiN і Ti2N (рис. 7.8 а). Після азотування в розрідженому

азоті (режим I) у ньому зафіксували лише 6 % нітриду TiN, тоді як в азоті

атмосферного тиску (режим II) – 36 % (рис. 7.8 б). Залежно від параметрів
процесу змінюється стехіометрія сформованого мононітриду титану. Зі

5
збільшенням парціального тиску азоту від 1 (нітридний шар І) до 10 Пa
(нітридний шар ІІ) вміст азоту у нітриді збільшується від 34,6 до 40,6 aт. %, що

відповідає зміні складу від TiN0,69 до TiN0,81. На суттєвіше насичення титану
азотом за вищого парціального тиску також вказують більші значення

параметрів ґратки -титану: а=0,29744 нм проти 0,29693 нм і с=0,47800 нм

проти 0,47718 нм. Таким чином, змінюючи парціальний тиск азоту під час

азотування, можна формувати мононітрид титану різної стехіометрії.