Page 288 - Докторська дисертація_Ткачук

288

7.2.1. Вплив температури азотування

Нітридні шари на технічно чистому титані ВТ1-0 [342] формували за

режимами, представленими у табл. 7.1.

Таблиця 7.1 – Параметри азотування технічно чистого титану ВТ1-0

Параметри азотування

T, °C t, год pN2, Па

5
850 5 10
5
950 5 10

Згідно з результатами рентгенівського фазового аналізу, на поверхні

титану після азотування за 850°С (рис. 7.6 a, спектр 1) формується нітридний

шар, який містить фази Ti2N та TiN. З підвищенням температури азотування
до 950°С (рис. 7.6 a, спектр 2) інтенсивність рефлексів мононітриду титану

зростає. Слід зазначити, що рефлекси фази Ti2N при цьому не фіксуються. З
підвищенням температури азотування від 850 до 950°С параметр шорсткості

поверхні Ra збільшується від 0,79 до 1,46 мкм.

Рисунок 7.6 – Дифракційні спектри, зняті з поверхні технічно чистого

титану ВТ1-0 після азотування (а) та наступного ПЕО (б); температура

попереднього азотування 850°C (спектри 1 і 3) і 950°C (спектри 2 і 4).