Page 211 - Докторська дисертація_Ткачук

211

позначених штриховими лініями, дала можливість ідентифікувати шар L0 як

фазу TiO2 у модифікації рутилу.

а б

Рисунок 5.23 – ТEM-зображення мікроструктури шару L0 на вершині

оксинітридного шару, сформованого на титановому сплаві ВТ6 при 750 °C (а)

та 950 °C (б).

Дифракція електронів, отримана з шару L1, утвореного при 750 °C та

950 °C, підтвердила наявність δ-TiNх, як показано на рис. 5.24 а, б. В обох

випадках в δ-TiNх присутні дефекти упаковки, двійникування та дислокацій у

площинах (110). Це може бути зумовлено проникненням кисню в кристалічну

ґратку (заміщення атомів азоту атомами кисню). Дифракція електронів,

отримана з шару L2, сформованого під час оксинітрування при 750 °C,

характерна для пластинчастої мікроструктури, і відповідає деформації типу

α''-Ti (рис. 5.24 в). Проте шар L2, який утворюється при 950 °C, не містить

дефектів, притаманних мартенситній фазі, і згідно результататів електронної

дифракції його ідентифікували як δ'-Ti2N.

Матриця титанового сплаву ВТ6, окрім великих зерен α-Ti (рис. 5.25 а,

б), містить набагато менші кристаліти з щільними паралельними дефектами

упаковки (рис. 5.20). Дифракція електронів дала можливість ідентифікувати їх

як фазу Ti3Al (рис. 5.25 в, г).