Page 207 - НАЦІОНАЛЬНА АКАДЕМІЯ НАУК УКРАЇНИ

207

Рисунок 5.20 – Включення

міді (світлі) у ПЕО шарі

На відміну від міді, її оксид активно взаємодіє з елементами у розрядному

каналі. Відбувається відновлення оксиду міді алюмінієм та його неповними

оксидами. Причому реакції проходять з виділенням великої кількості тепла.

Таким чином, термодинамічний аналіз показує, що можливими реакціями

є наступні:

–
2+
• розчинення мідних включень Cu + 2OH → Cu(OH) 2;
• окиснення алюмінію та мідних включень

4Al + 3O 2 = 2Al 2O 3; 2Cu + O 2 = 2CuO;

• утворення шпінелі типу CuAl 2O 4;

• відновлення оксиду міді алюмінієм в плазмовому каналі та виділен-

ня включень міді в ПЕО шарі 3CuO + 2Al = Al 2O 3 + 3Cu + Q.

Такий механізм синтезу ПЕО шару підтверджується фазовим та

спектральним аналізом отриманих композиційних шарів (рис. 5.21, рис. 5.22).

Рисунок 5.21 –

Рентгенограма ПЕО

шару, синтезованого на

плазмовому покритті Al

+ 15 мас.% Cu.