Page 230 - Докторська дисертація_Ткачук

230

інтенсивності рефлексів оксиду титану. Поверхня набуває сірого забарвлення.

Одночасно зменшується кількість та інтенсивність рефлексів нітридної фази.

Оксинітрування за температур 700 і 650°С знижує інтенсивність

нітридо- та оксидоутворення, про що свідчить зменшення інтенсивності

рефлексів нітридної та оксидної фаз (рис. 5.40 г, д). Після хіміко-термічної

обробки за температури 650°С оксидну фазу не ідентифікували. Зі зниженням

температури насичення до 600...700°С поверхня стає фіолетово-золотистою та

золотистою.

Рисунок 5.40 – Дифракційні спектри, зняті з поверхні титану ВТ1-0 після

оксинітрування в розрідженому (0,01 Па) азоткисневмісному газовому

середовищі (повітря), залежно від температури насичення: a –850 °С;

б – 800 °С; в – 750 °С; г – 700 °С, д– 650 °С.

Оскільки товщини поверхневої плівки з оксинітридним, оксидним і

нітридним складниками, утвореної на поверхні титану ВТ1-0 після

оксинітрування за температур, нижчих за 650°С, виходять за межі роздільної

здатності методу рентгенофазового аналізу, то її ідентифікували,

використовуючи рентгенівську фотоелектронну спектроскопію [295].

Проаналізувавши енергію зв'язку, встановили, що поверхнева плівка,