Page 231 - Докторська дисертація_Ткачук

231

сформована при 650 і 500°С, містить оксинітридний, оксидний та нітридний

складники (рис. 5.41), як і плівки, сформовані за вищих температур

оксинітрування (700...850°С).

а б

Рисунок 5.41 – Рентгенівська фотоелектронна спектроскопія поверхні

титану ВТ1-0 після оксинітрування за температур 500 °С (а) і 650 °С (б).

Результати мікрорентгеноспектрального аналізу вказують на те, що

кисень присутній у поверхневому шарі титану за усіх досліджуваних
температур оксинітрування (рис. 5.42). Найвища його концентрація на

поверхні фіксується за температур 750 і 800 °С, що узгоджується з даними
рентгенофазового аналізу (рис. 5.40 б, в), де присутній найбільший вміст

оксиду титану. Зі зниженням температури до 600 °С вміст кисню зменшується,

а далі зростає (до 500 °С). Таку залежність слід пов'язувати з конкуруванням

процесів взаємодії титану з киснем і азотом. Оскільки азот починає активно