Page 198 - Докторська дисертація_Ткачук

198

Рисунок 5.8 – СЕМ-зображення поверхні та поперечного перерізу

титанового сплаву ВТ6 після азотування при 850 С протягом 1 год (a), 6 год
о
(б) і 12 год (в).

Спектри N-Kα, Ti-Lα і V-Lα перекриваються при ~0,39 кеВ, і сигнал

азоту ослаблений через низьку енергію його характеристичного

випромінювання. Тому концентрації елементів у точках від 1 до 13 (рис. 5.9) є

орієнтовними (табл. 5.1). Тим не менш, азот продифундував, утворюючи

зовнішній нітридний TiN шар товщиною 0,9 мкм (точки 1 і 2). Точки нижче 3

відповідають внутрішьому шару Ti(N). Алюміній локально сегрегований у

точках від 3 до 6 через його обмежену розчинність у нітридах.