Page 47 - НАЦІОНАЛЬНА АКАДЕМІЯ НАУК УКРАЇНИ

47

транспорт незначний [37]. Ефективність анодування під час розвитку пористої

плівки зазвичай становить близько 60 % під час анодування в електролітах

H 3PO 4 та H 2SO 4 [37]. Сірка та фосфор включені в плівку у вигляді сульфат-іонів

2–
(SO 4 та фосфат-іонів (PO 4 ) відповідно, і вони мігрують всередину
2–)
повільніше, ніж O тому не досягають межі розділу метал/плівка [37].
2–,
Бар’єрний шар у нижній частині кожної комірки приблизно півсферич-

ний, так що межа розділу метал/оксид виглядає зубчастою [40]. Діаметр комір-

ки анодних плівок оксиду алюмінію має лінійну залежність від прикладеної

напруги анодування, де константа пропорційності діаметра комірки на при-

кладену напругу анодування становить приблизно 2,5 нм/В [41]. Аналогічно,

товщина бар'єрного шару також корелює з напругою анодування з відношенням

порядку 1 нм/В [28]. Товщина пористої області залежить від заряду, пропуще-

ного під час процесу анодування, тому пористий шар є товстішим від

бар’єрного шару [37]. На початку процесу бар’єрна плівка покриває всю

поверхню алюмінію. Далі йде падіння густини струму з потовщенням оксиду 1

(рис.1.3.).

Рисунок 1.3 –

Схематична діагра-

ма густини струму

протягом початко-

вого росту плівки

[40].

Електричне поле сфокусоване локально на коливаннях поверхні 2, що

приводить до локального розчинення в утвореному оксиді, що в свою чергу

призводить до зростання пор 3. Оскільки деякі пори припиняють ріст через

конкуренцію серед інших пор, струм незначно зменшується, досягнувши плато.