Page 106 - Microsoft Word - Дисертація_Винар_end

106

мікроскопу ZEISS EVO 40XVP (рис. 2.19) із системами рентгенівського

мікроаналізу INCA Energy та дифракцїї обернених електронів (EBSD) [307].

Рисунок 2.19 –

Загальний вигляд сканівного

електронного мікроскопа ZEISS

EVO 40XVP

Електронний мікроскоп Carl Zeiss включає в себе базовий блок EVO

40XVP із можливістю роботи у режимах високого вакууму, низького вакууму

та наднизького вакууму в комплекті з детекторами вторинних електронів

Эвернхарта-Торнлі (SE) та 4-ох сегментним детектором відбитих електронів

(BSD).

Енергодисперсійний рентгенівський спектрометр (EDX-аналіз) INCA

2
ENERGY 350 в комплекті з літієвим детектором площею 10 мм , забезпечує
роздільну здатність 133 эВ, чутливість визначення домішки 0,01%,

локальність аналізу від 1 мкм на стандартних взірцях та до 0,1 мкм на

плівках.

Дані, зібрані за допомогою EBSD-аналізу, просторово розподілені і

візуалізуються на картах і зображеннях, а також є потужними інструментами

для пошуку локалізованих об'єктів для неоднорідних зразків. Його можна

використовувати для вивчення конкретних зерен, локальних змін текстури і

фаз невеликого розміру. EBSD-аналіз може забезпечити хорошу фазову

дискримінацію, а при використанні разом з EDX-аналізом забезпечує фазову

ідентифікацію. Використання EBSD-аналізу для опису мікроструктури дає