Page 42 - дсрт

42

Рис. 2.8. Загальний вигляд мікроскопа EVO 40 XVP.

Основні технічні характеристики моделі EVO 40 XVP:

6
 збільшення від 7 до1×10 разів;

 детектори (стандартна комплектація):

 детектор вторинних електронів Everhardt Thornley;

 квадрантний детектор відбитих електронів 4Q-BSD;

 розміри зразка:

 до 200 мм (діаметр);

 до 150 мм (висота);

 до 5 кг вагою.
Повністю моторизований столик «картезіанського» типу з п‘ятьма

ступенями свободи (опціонально: 6) з можливістю емуляції «евцентричного»
столика: X = 80 мм; Y = 80 мм; Z = 35 мм; T = 0°…-90; R = 360.

Визначення хімічного аналізу виконано за допомогою дитектора INCA.

Головний елемент енергодисперсійного спектрометра (ЕРС) – це

напівпровідниковий детектор (ППД) рентгенівського випромінювання. Де-

тектор перетворює енергію одиничного рентгенівського фотона в стрибок

напруги пропорційної величини з використанням напівпровідникового

кристалу і польового транзистора-підсилювача.

У даний час використовують кремній-літієвий Si(Li) детектор. Для

отримання необхідних характеристик і зниження перешкод (теплових шумів)

ППД необхідно охолоджувати: Si(Li) – зазвичай до температури кипіння рід-