Page 68 - Докторська дисертація_Ткачук

68

Метод плазмо-електролітного оксидування (ПЕО). Метод плазмо-

електролітного оксидування (ПЕО) або анодно-іскрового оксидування чи

мікродугового оксидування є плазмохімічним і електрохімічним процесом.

Процес поєднує електрохімічне окиснення з високовольтною іскровою

обробкою у водному електроліті, який містить модифікуючі елементи у формі

розчинених солей які потрібно включати в отримані покриття [255, 256].

Установка для процесу ПЕО містить нержавну чи титанову ванну з

електролітом, у яку занурюється зразок (робочий електрод), високовольтний

блок живлення, водяне охолодження, електромішалку (рис. 1.20).

Рисунок 1.20 – Схематичне обладнання для плазмо-електролітного

оксидування [255].

Коли прикладена напруга перевищує певне критичне значення,

відбувається мікроплазмовий розряд на поверхні підкладки, тим самим
отримуючи модифіковану поверхню [257].

Під час процесу мікророзряди швидко виникають і згасають протягом
−5
10 –10 секунд на аноді і нагрівають металеву підкладку до 373–423 К.
–4
Одночасно температура та тиск у розрядних каналах, утворених електричними
3
4
3
2
іскрами, досягають 10 –10 К [258] і 10 –10 МПа, відповідно [259]. Такої
температури і тиску є достатньою, щоб викликати плазмову взаємодію між
підкладкою та електролітом (рис. 1.21 д). Це призводить до утворення на

поверхні розплавлених охолоджених високотемпературних оксидів і складних