Page 67 - Докторська дисертація_Ткачук
P. 67
67
Метод магнетронного напилення. Для нанесення гідроксиапатитних
покриттів також використовують метод магнетронного напилення [236–254].
Він є різновидом методу катодного напилення, при якому біля поверхні катода
(мішені) за допомогою схрещених магнітного та електричного полів
формується шар плазми високої густини (рис. 1.19). Завдяки цьому значно
зростає густина струму та швидкість іонного напилення.
Рисунок 1.19 – Схематична діаграма процесу магнетронного напилення
[248].
Даний метод дозволяє отримувати однорідні ГА покриття без
порушення стехіометрії чи вихідного співвідношення компонентів
розпилювальної мішені. Проте важко наносити покриття на підкладки
складної форми.
Також використовують метод ВЧ-магнетронного напилення, який
дозволяє формувати тонкі (до 5 мкм) кальційфосфатні покриття з високою
адгезійною міцністю.
