Page 13 - Автореферат_-Стасишин

11

дисертаційної роботи оптичного 3D профілометра. При цьому використано два
варіанти оптичної схеми. Перший – для варіанту окремого приладу, а другий – як
доповнення-насадка до бінокулярного мікроскопа МБС-10. Другий варіант було
реалізовано через ряд переваг, що забезпечував мікроскоп, зокрема, перемінне
збільшення об’єктива (можливість швидкого переналаштування під час зміни
ділянки спостереження та об’єктів з різною шорсткістю поверхні). Замість одного з
окулярів мікроскопа монтується фотокамера, а перед об’єктивом кріпиться
інтерферометр. Такий варіант оптичної схеми профілометра показано на рис. 6.

Рисунок 6 – Оптична схема інтерферометричної насадки

Також до складу оптичного 3D профілометра входить пристрій для плавного
зсуву фази опорного променя та персональний комп’ютер, який виконує функції
ініціалізації подачі напруги та відбору ІП. Об’єкти дослідження розміщують на
стандартному двохкоординатному столику, який дає змогу позиціонувати об’єкти
дослідження з похибкою ± 10 мкм. На рис. 7 представлено зовнішній вигляд
розробленого оптичного 3D профілометра.

Рисунок 7 – Загальний вигляд оптичного 3D профілометра