Page 10 - Автореферат_-Стасишин

8

(6)
tan (, ) = −

а невідому фазову мапу як:
(7)
[(, )] = tan −1 (− )

Всю процедуру першого етапу відтворення рельєфу поверхні можна
представити блок схемою, яку наведено на рис. 2.

Реєстрація I (k,l), I (k,l), I (k,l)
2
1
3
I і I I і I
3
1
2
1
Екстрагування  Екстрагування 
21
31
Обчислення b і c:
=
,l
,l
k
k
,l
k
,l
k
b ( ) I 1 ( )− I 3 ( )sin  21 + I 2 ( )− I 1 ( )sin  ,
,l
k
31
=
+
k
,l
k
,l
,l
k
k
,l
c ( ) I 2 ( )− I 3 ( ) I 3 ( )− I 1 ( )cos  21 +
,l
k
,l
,l
k
k
I 1 ( )− I 2 ( )cos
31
[(k,l)] =arctan{–[c(k,l)/b(k,l)]}
w
Розширення діапазону ФМ: –[ (k,l)] 
w
Ri

Рисунок 2 – Блок-схема реалізації першого етапу методу ТКФЗІ

Отримана фазова мапа після першого етапу містить багато шумів, що
виникають під час реєстрації та комп’ютерної обробки ІП. Для усунення шумів
використовується другий етап методу. Він містить подвійну фільтрацію, яка після
першої ітерації дозволила усунути шуми (від елементів оптичної схеми
інтерферометра – віддзеркалення, завади, паразитна інтерференція тощо), та
випадкову складову, яка може виникати під час процедури розгорнення фазової
мапи. Для знаходження оптимальних параметрів фільтра (частоти відсікання) було
проведено моделювання тестової поверхні (рис. 3), до якої додавали різну
шорсткість та шуми.