Page 8 - Автореферат_-Стасишин
P. 8
6
високою прецизійністю, проте низькою швидкодією. Саме через незадовільну
швидкодію цього методу було розроблено метод ТКФЗІ.
У другому розділі наведено результати комп’ютерного моделювання та
вибору способу реалізації методу ТКФЗІ. Для відтворення рельєфу поверхні цим
методом необхідно послідовно виконати такі два етапи. Перший – реєстрація та
попередня обробка ІП. На цьому етапі реєстрували три ІП з розподілом
інтенсивності І 1, І 2 та І 3. Процедура попередньої обробки дала можливість отримати
«грубу» фазову мапу рельєфу поверхні. Другий етап – фільтрація в частотній області
отриманої фазової мапи та виділення компонентів рельєфу.
Для реєстрації ІП запропоновано використовувати інтерферометр Тваймана-
Гріна (рис. 1). В цьому інтерферометрі опорне дзеркало кріпиться до
п’єзоелектричного елемента (п’єзокераміки) і таким чином виконує роль ФЗЕ.
7
6
3 8
8 9
2
1
10
4
5
11
Рисунок 1 – Експериментальна установка для формування, реєстрації
та обробки ІП: 1 – розширений лазерний пучок; 2 – світлоподільник;
3 – опорне дзеркало; 4 – об’єктив; 5 – цифрова відеокамера;
6 – п’єзокераміка; 7 – блок керування; 8 – об’єкт дослідження;
9 – кондуктор; 10 – ділянка поверхні; 11 – комп’ютер
Зареєстровані ІП відрізняються між собою тільки величинами фазових зсувів
опорного променя , та . Розподіли інтенсивності в них описуються
2
3
1
відповідними рівняннями:
`
(, ) = (, ){1 + (, ) cos[(, ) + ]}
1
1
`
{ (, ) = (, ){1 + (, ) cos[(, ) + ]} (1)
2
2
`
(, ) = (, ){1 + (, ) cos[(, ) + ]}
3
3
`
де (, ) = (, ) + (, ) – розподіл сумарної інтенсивності предметного та
опорного пучків; (, ) – розподіл інтенсивності предметного пучка, (, ) –
