Page 14 - АвторефМокрий21
P. 14

12


               різниці ходу d і в деяких положеннях дорівнює нулю. Це вимагає стабілізації
               різниці плеч інтерферометра і, відповідно, ускладнення умов вимірювань. В цій
               частині  отримані  результати  узгоджуються  з  відомим  фактом  про  залежність






                 W, в.о.                                         W, в.о.
                       4                                              4

                       2                                              2
                                        а
                       0                                              0                                 0
                                                          0              100                      0,8
                          100                       0,8                         200        1,6
                                 200         1,6
                                 d, нм    r, мм                                d, нм       r, мм
                                        а                                               б

                  W, в.о.                                          W, в.о.

                      4                                                 4

                      2                                                 2

                      0                                                 0                                 0

                          100                       0,8     0              100                      0,8

                                 200       1,6                                  200         1,6
                                 d, нм    r, мм                                  d, нм     r, мм
                                        в                                               г

                W, в.о.                                             W, в.о.
                     4
                                                                          4
                     2                                                    2


                     0                                    0               0                                0
                          100                      0,8                       100                    0,8
                                200         1,6                                   200        1,6
                                d, нм    r, мм                                    d, нм  r, мм
                                       д                                                 е


                     Pис. 2. Залежність чутливості від радіуса оптичного променя  r, та різниці
                     ходу d, довжина ПАХ Λ=1 мм:  а − L=0,4 мм, б − L=0,8 мм,  в – L=1 мм, г
                                          − L=1,2 мм, д − L=2 мм,  е − L=100 мм.


               чутливості  від  різниці  ходу,  що  свідчить  про  достовірність  результатів.  У

               випадку,  коли  ширина  променя  є  співмірною  із  довжиною  ПАХ,  залежність
               чутливості від d зменшується. Але, з іншого боку, з графіків рис. 2 a, б, г, д, е
               видно,  що  чутливість  за  збільшення  ширини  променя  також  зменшується.
   9   10   11   12   13   14   15   16   17   18   19